TR-PAG-20304
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外观：类白色固体
纯度：≥99.50%
单个金属离子：≤10ppb
酸值：≤0.001mol/Kg
KrF光刻胶
TR-PAG-30204
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外观：类白色固体
纯度：≥99.50%
单个金属离子：≤10ppb
酸值：≤0.001mol/Kg
KrF光刻胶
TR-PAG-40507
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外观：类白色固体
纯度：≥99.50%
单个金属离子：≤200ppb
酸值：≤0.002mol/Kg
i线光刻胶
TR-PAG-42203
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外观：淡黄色固体
纯度：≥99.50%
单个金属离子：≤200ppb
酸值：≤0.002mol/Kg
i线光刻胶
TR-TM1302
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外观：淡黄色到无色液体
纯度：≥99.00%
KrF光刻胶聚合物用单体
TR-B601
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重均分子量：8000-15000
分子量分布：＜1.8
水分：＜0.5%
残留单体：＜1.0%
单个金属离子：＜50ppb
组成：HS=60-70%,ST=10-25%
TBA=5-20%
KrF光刻胶聚合物PHS树脂
TR-B602
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重均分子量：15000±1000
分子量分布：1.50-1.80
残留单体：＜1.0%
单个金属离子：＜50ppb BOC：30±5%
KrF光刻胶聚合物PHS树脂
